Standard Practice for Determination of the Specimen Area Contributing to the Detected Signal in Auger Electron Spectrometers and Some X-Ray Photoelectron Spectrometers
1.1 本實踐描述了當樣品區域由電子能量分析儀的電子收集透鏡和孔徑系統定義時，確定對俄歇電子能譜儀和某些類型的 X 射線光電子能譜儀中檢測到的信號有貢獻的樣品區域的方法。該做法僅適用于那些由入射 X 射線束激發的樣品區域大于分析儀觀察到的樣品區域的 X 射線光電子能譜儀，其中光電子在樣品的無場區域中傳播到分析儀入口，其中可以安裝輔助電子槍，以在樣品上產生可變能量的電子束。 1.2 建議將這種做法作為確定分析儀在不同光譜儀條件下觀察到的樣品面積的有用方法。操作，驗證樣品和光束是否充分對準，以及表征電子能量分析儀的成像特性。本標準并不旨在解決與其使用相關的所有安全問題（如果有）。本標準的使用者有責任在使用前建立適當的安全和健康實踐并確定監管限制的適用性。