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GB/T 8758-1988
砷化鎵外延層厚度紅外干涉測量方法

Measuring thickness of epitaxial layers of gallium arsenide by infrared interference

GBT8758-1988, GB8758-1988

2006-11

標準號
GB/T 8758-1988
別名
GBT8758-1988, GB8758-1988
發布
1988年
發布單位
國家質檢總局
替代標準
GB/T 8758-2006
當前最新
GB/T 8758-2006
 
 
適用范圍
本標準適用于砷化鎵外延層厚度的測定??蓽y厚度大于2μm。要求襯底電阻率小于 0.02Ω·cm,外延層的電阻率大于0.1Ω·cm。

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