GB/T 8758-1988
砷化鎵外延層厚度紅外干涉測量方法
Measuring thickness of epitaxial layers of gallium arsenide by infrared interference
GBT8758-1988, GB8758-1988
2006-11
- 標準號
- GB/T 8758-1988
- 別名
- GBT8758-1988, GB8758-1988
- 發布
- 1988年
- 發布單位
- 國家質檢總局
- 替代標準
- GB/T 8758-2006
- 當前最新
- GB/T 8758-2006
- 適用范圍
- 本標準適用于砷化鎵外延層厚度的測定。可測厚度大于2μm。要求襯底電阻率小于 0.02Ω·cm，外延層的電阻率大于0.1Ω·cm。