mems傳感器

本專題涉及mems傳感器的標準有3條。

國際標準分類中，mems傳感器涉及到空氣質量、信息技術應用、光電子學、激光設備。

在中國標準分類中，mems傳感器涉及到。

中國團體標準，關于mems傳感器的標準

• T/AHEMA 23-2022 MEMS VOC 氣體傳感器技術要求
• T/QGCML 1721-2023 傾角MEMS傳感器過濾噪聲的控制程序系統
• T/NLIA 002-2021 汽車MEMS壓力傳感器灌封工藝仿真規范

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可能用到的儀器設備