DIN EN ISO 14644-3 E:2002-12
潔凈室和相關(guān)控制環(huán)境 第3部分：試驗(yàn)方法（草案）
Clean rooms and related controlled environments Part 3: Test methods (draft)
- 標(biāo)準(zhǔn)號
- DIN EN ISO 14644-3 E:2002-12
- 發(fā)布
- 2002年
- 總頁數(shù)
- 72頁
- 發(fā)布單位
- 德國標(biāo)準(zhǔn)化學(xué)會(huì)
- 替代標(biāo)準(zhǔn)
- DIN EN ISO 14644-3:2006
- 當(dāng)前最新
- DIN EN ISO 14644-3:2020-08
-
標(biāo)準(zhǔn)名稱：潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第3部分：測量技術(shù)和試驗(yàn)方法 (ISO/DIS 14644-3:2002)標(biāo)準(zhǔn)號：prEN ISO 14644-3:2002適用范圍：本部分適用于潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中的測量技術(shù)和試驗(yàn)方法。這些技術(shù)用于確保和驗(yàn)證空氣潔凈度、過濾器性能及氣流等關(guān)鍵參數(shù)。該標(biāo)準(zhǔn)詳細(xì)規(guī)定了潔凈室及其相關(guān)區(qū)域的測量和技術(shù)試驗(yàn)方法，包括粒子計(jì)數(shù)、流動(dòng)檢測、壓力差監(jiān)測等內(nèi)容。標(biāo)準(zhǔn)旨在通過推薦的方法確保潔凈室的質(zhì)量，并提供必要的技術(shù)指導(dǎo)以滿足不同級別潔凈室的需求。