ISO 14644-3:2005
潔凈室和相關(guān)控制環(huán)境.第3部分:試驗(yàn)方法
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 3: Test methods
- 標(biāo)準(zhǔn)號(hào)
- ISO 14644-3:2005
- 發(fā)布
- 2005年
- 總頁數(shù)
- 72頁
- 中文版
- GB/T 25915.3-2010 (等同采用的中文版本)
- 發(fā)布單位
- 國際標(biāo)準(zhǔn)化組織
- 替代標(biāo)準(zhǔn)
- ISO 14644-3:2019
- 當(dāng)前最新
- ISO 14644-3:2019/Amd 1:2020
- 引用標(biāo)準(zhǔn)
- ISO 7726:1998
- 適用范圍
- ISO 14644 的這一部分規(guī)定了空氣顆粒潔凈度指定分類以及表征潔凈室和潔凈區(qū)性能的測(cè)試方法。 性能測(cè)試針對(duì)兩種類型的潔凈室和潔凈區(qū)：?jiǎn)蜗蛄骱头菃蜗蛄鳎谌N可能的占用狀態(tài)：竣工狀態(tài)、靜止?fàn)顟B(tài)和運(yùn)行狀態(tài)。 測(cè)試方法推薦了用于確定性能參數(shù)的測(cè)試裝置和測(cè)試程序。 如果測(cè)試方法受到潔凈室或潔凈區(qū)類型的影響，建議采用替代程序。 對(duì)于某些測(cè)試，建議使用幾種不同的方法和設(shè)備來適應(yīng)不同的最終用途考慮因素。 如果基于客戶和供應(yīng)商之間的協(xié)議，可以使用 ISO 14644 本部分中未包含的替代方法。 替代方法不一定提供等效的測(cè)量結(jié)果。 ISO 14644 的這一部分不適用于潔凈室或獨(dú)立設(shè)備中的產(chǎn)品或過程的測(cè)量。
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專題
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